나노스케일 HZO 기반 강유전체 스위칭 특성 규명

AI요약

경희대학교 응용물리학과 손종역 교수 연구팀이 나노스케일 강유전체 소자의 '스케일링 한계' 문제 해결을 위한 핵심 연구 결과를 발표하였습니다. 연구팀은 하프늄-지르코늄 산화물(HZO) 나노점을 활용하여 강유전체의 분극 스위칭을 정밀 분석하고, 크기와 두께에 따른 전기적 한계를 정량적으로 규명하였습니다. 나노구조에서의 전하 경계 효과와 분극 안정성의 상관관계를 밝혀내었으며, 초고속 압전 응답 현미경을 통해 도메인 벽 이동 속도를 측정하여 고집적·저전력 메모리 설계에 필요한 핵심 지표를 확보했습니다. 본 연구는 차세대 고집적 비휘발성 메모리 및 에너지 효율형 로직 소자 설계의 기초 자료가 될 것으로 기대됩니다.